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| 英文名称： | Indium-tin oxide target | ||||||||||
| 版本： | 标准状态： | 现行 | |||||||||
| 中国标准分类 (CNS)： |
【H62】 | 国际标准分类 (ICS)： |
【77.150.60】 | ||||||||
| 发布日期： | 2006-09-26 | ||||||||||
| 实施日期： | 2007-02-01 | 页数： | 9 | ||||||||
| 废止日期： | |||||||||||
| 适用范围： | 本标准规定了氧化铟锡（简称ITO）靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于氧化铟锡靶材。 |
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